半导体靶材的原理(半导体靶材工作原理)

04:02他是大家口中的“罗大师”，参与设计了中国第一条超大规模集成电路用靶材生产线，为中国第一代半导体用高纯铝靶、钛靶、铜靶、钽靶、钼靶、LCD靶等的制造作出了重要贡献。“罗大师”的称号不仅因为他在自己工作岗位上的突出成绩，他还义务担当了几十家企业的“技术顾问”，企业遇到技术难题时，“罗大师”都会开出自己的“药方”。这位大家口中的“罗大师”，就是来自宁波江丰电子的罗明浩，他亲身投入到江丰电子创业17年，获得浙江工匠、宁波首席工人、宁波市劳动模范、宁波市优秀高技能人才及浙江省“百千万拔尖人才”等众多荣誉，还是罗明浩技能大师工作室和劳模创新工作室的领办人。2022年，罗明浩获评为全国五一劳动奖章，在颁奖大会上作为代表进行了发言。2005年，在余姚电器机械领域已小有名气的罗明浩，加入江丰电子后参与了设计我国首条超大规模集成电路用溅射靶材生产线，并由他来主导生产线大型关键设备的设计、安装和调试。“当时是第一次接触到超高纯金属溅射靶材这一概念，以前听都没听说过。”“当时我们国内所使用的超高纯金属材料及溅射靶材全部依赖进口，市场完全被日本和美国的跨国公司垄断。”罗明浩说。在没有参考的材料也没有专家指导的情况下，罗明浩成立了设备课，带领团队的其他队员全身心投入到了生产线的建设中。不懂就学，跑日本、跑东北，罗明浩一个一个环节地去研究、攻克，啃下了一个又一个硬骨头。他积极发挥专业特长，结合半导体靶材设备实际所需设计改造了大批国产装备，为中国第一代半导体用高纯铝靶、钛靶、铜靶、钽靶、钼靶、LCD靶等的制造作出了重要贡献。江丰电子成立初期，受国外技术垄断以及原材料进口等因素制约，材料成本增加，且产品正常出货也存在隐患。当时的罗明浩看在眼里，急在心里，如何将高纯铝精炼铸造自主化，成了他心中最记挂的事。“早在成立之初，公司就有了原材料自主化打算，但由于受到场地和技术的限制，未能实现。”2011年，江丰电子2号厂房建成，单独开辟了一个精炼铸造室，罗明浩开始全身心投入到设备的研制中。当时，国内这一领域还未有人踏足，没有前人经验可供参考。毫无头绪的罗明浩又从零开始，摸着石头过河。无数个通宵达旦终于换来了成功。2015年，国内第一套高纯铝精炼铸造系统实现运转，有效降低了原材料成本，并首次实现该产品的国产化，填补了国内在这一领域的空白。罗明浩说：“客户的要求的纯度是598（99.9998%）就可以了，但我们不可以，我们一定要做到99.9999%，对芯片（纯度）的要求只会越来越高，我们只能往上走。”2013年江丰电子从欧洲进口了行业内尖端的VG9000辉光放电质谱仪大型分析仪器，这台设备需要检测出溅射靶材里所含的十亿分之一的杂质，以及各种金属元素的精确含量，对纯度的要求达到了99.9999%，因此对设备本身的要求也非常苛刻。设备到中国后水土不服，使用中出现了故障，迟迟不能正常检测。设备精密程度高，设计复杂，维修难度较高，当时只有极个别的外籍专家掌握这项维修技术，聘请他们过来维修花费高、周期长，于是这个重担又落在了罗明浩头上。罗明浩在检测室里安了家，天天对着这台机器冥思苦想，一点一点地改造调试，在近半年研究与摸索后，终于把这台无法正常工作的高精尖仪器恢复到了国际水平，完全适应中国现场要求，江丰电子也完全掌握了自主维修技术。罗明浩在自己的本职岗位上创造了卓越的成绩，但他仍不满足，在他眼里，只有把自己的能力发挥到更多的地方，才能体现自己的价值。余姚市工会惠企技师服务队成立后，罗明浩积极参加工会组织的各项惠企活动，帮助企业解决生产过程中的设备、技术等难题，小到设备有没有接地，大到设备故障的排除和修复，保障设备的正常安全生产，让更多的企业良好发展。“完全是义务的，吃饭开车都是自己解决，好多项目都已经步入了正轨。”罗明浩说。从一个不知道靶材是什么的门外汉成长为江丰电子制造中心技术顾问，“罗大师”的诞生非一朝一夕之功，罗明浩所走过的每一条路都留下了踏实的脚印，他获得的每一份荣誉上都镌刻着他十多年的坚守，永不放弃的韧性和一往无前的拼劲。技术工人队伍是支撑中国制造、中国创造的重要力量，“关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的，只有把核心技术牢牢掌握在自己手中，才能真正掌握发展的主动权。”这句话始终铭记在罗明浩的心中，他怀着技能报国的梦想奋力前行，展现了新时代产业工人的卓越风采。